Tech · ASML NXE:3400B

ASML NXE:3400B의 도입과 EUV 양산 통합

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TechASML NXE:3400B

ASML NXE:3400B의 도입과 EUV 양산 통합

2017

92일

2017-03-01NXE:3400B 도입·초기 고객사 출하ASML이 NXE:3400B(EUV 노광 장비) 도입·초기 고객사 삼성·TSMC 출하.

2018214일

2017-06-01삼성·TSMC 적격성 검증삼성·TSMC가 NXE:3400B 적격성 검증.

20191년

2018-01-01양산 적용: 7nm 공정NXE:3400B 7nm 공정 양산 적용 시작.

20201년

2019-01-01EUV 양산 채택 확대EUV 양산 채택 확대. 삼성 7nm·TSMC 7nm.

335일

2020-01-01Intel EUV 도입 지연Intel이 EUV 도입을 2021년으로 지연.

202131일

2020-12-01NXE:3600D 세대 전환ASML NXE:3600D 세대 발표.

20221년

2021-01-015nm 공정 양산 적용EUV 5nm 공정 양산 적용. TSMC 5nm.

20231년

2022-01-01High-NA EUV 발표ASML High-NA EUV(EXE:5000) 발표.

20241년

2023-01-01Intel High-NA EUV 첫 인수Intel이 High-NA EUV 첫 인수.

152일

2024-01-01EUV 양산 통합 유산EUV가 반도체 양산 표준으로 확립.

183일

2024-06-01ASML High-NA 상용화ASML High-NA EUV 상용화 진행.

2024-12-01ASML NXE 유산ASML NXE:3400B가 EUV 양산의 상징으로 확립.

2017-2021. EUV 노광.

이벤트

2017

92일

2017-03-01

2018214일

2017-06-01

20191년

2018-01-01

20201년

2019-01-01

335일

2020-01-01

202131일

2020-12-01

20221년

2021-01-01

20231년

2022-01-01

20241년

2023-01-01

152일

2024-01-01

183일

2024-06-01

2024-12-01

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